產(chǎn)品型號：膜厚測試儀CMI900

X射線熒光光譜儀

快速的分析：正比計數(shù)探測器和50瓦微焦X射線管，大大了靈敏度

簡單的元素區(qū)分：二次光束過濾器可以分離重疊元素

性能優(yōu)化，測量元素范圍廣： 可預(yù)設(shè)參數(shù)
CMI900 提供800多種預(yù)設(shè)應(yīng)用參數(shù)/方法

出的長期穩(wěn)定性： 

自動熱補償測量儀器溫度，糾正變化，提供穩(wěn)定的結(jié)果

簡單快速的光譜校準，定期檢查儀器性能（如靈敏度），并提供要的糾正

堅固耐用的設(shè)計

可以在實驗室或生產(chǎn)線上操作

堅固的工業(yè)設(shè)計 

經(jīng)行業(yè)驗證的技術(shù)，在銷售量過3000臺

要特點

測量范圍寬，可檢測元素范圍：Ti22–U92；

可同時測定5層/15種元素/共存元素較正；

高、穩(wěn)定性好；

強大的數(shù)據(jù)統(tǒng)計、處理功能；

NIST的標(biāo)準片；

服務(wù)及支持。

參數(shù)介紹：

1.X射線激發(fā)系統(tǒng)

垂直下照式X射線光學(xué)系統(tǒng)

空冷式微聚焦型X射線管，Be窗

標(biāo)準靶材：Rh靶；任選靶材：W、Mo、Ag等

功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)

裝備有射線光閘

二次X射線濾光片：3個位置程控交換，多種材質(zhì)、多種厚度的二次濾光片任選

2.準直器系統(tǒng)

單準直器組件、多準直器自動控制組件：多可同時裝配6種規(guī)格的準直器

多種規(guī)格尺寸準直器任選：

            －圓形，如4、6、 8、 12、13、20 mil等

即0.102、0.152、0.203、0.305、0.330、0.508mm

－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16mil等

即0.025*0.05、0.05*0.05、0.013*0.254、0.025*0.254、0.051*0.254、0.102*0.406mm

測量斑點尺寸在12.7mm聚焦距離時，小測量斑點尺寸為：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm<即1x2mil>準直器)在12.7mm聚焦距離時，測量斑點尺寸為：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm<即圓形12mil>準直器)

3.樣品室

開槽式樣品室樣品臺尺寸610mm x 610mmXY軸移動范圍標(biāo)準：152.4 x 177.8mm<程控> Z軸程控移動高度43.18mmXYZ軸控制方式多種控制方式任選：XYZ三軸程序控制；XY軸手動控制和Z軸程序控制；XYZ三軸手動控制

4.樣品觀察系統(tǒng)

高分辨彩色CCD觀察系統(tǒng)，標(biāo)準放大倍數(shù)為30倍。50倍和100倍觀察系統(tǒng)任選。激光自動對焦功能可變焦距控制功能和固定焦距控制功能計算機系統(tǒng)配置IBM計算機