Sinton WCT-120:硅片壽命測試工具

簡介：

硅片測試儀器提供了對載流子復合壽命進行校準分析的現有技術。完全遵從SEMI標準 PV-13。WCT-120 是放置在桌面上的硅片壽命測量系統，適用于器件研究和工業過程控制，價格實惠。WCT-120MX適用于測試230 mm的大硅片。

WCT-120:硅片壽命測試工具產品概述

WCT-120和WCT-120MX 儀器展示了我們獨特的測量和分析技術，包括 sinton Instruments公司在 1994年開發的遵從 SEMI標準的準穩態光電導(QSSPC)壽命測量方法。

WCT-120儀器使用QSSPC和瞬態光電導衰減技術，可以測量10ns到10 ms+范圍的硅片壽命。QSSPC 技術適用于監測多晶硅片、摻雜擴散及低壽命樣品。瞬態光電導衰減技術適用于對高壽命樣品的工藝進行逐步監控。

WCT-120壽命測試也會給出隱含開路電壓(隨光照強度變化的)曲線，相當于在電池工藝的每個階段都能給出一條I-V曲線。

WCT-120:硅片壽命測試工具主要應用：

對制造工藝進行逐步監控和優化。

其他應用:

l 監測初始材料質量。

l 在硅片加工過程中檢測重金屬雜質污染。

l 評估表面鈍化和發射極摻雜擴散。

l 使用隱含I-V測試，估算加工過程引起的并聯電阻。

Sinton Instruments 的分析會給出每張硅片的校準的載流子注入水平，所以可以認為壽命數據在物理意義上是準確的。每次測試都會顯示和記錄用戶所關注的特定參數。