TESCAN CLARA 超高分辨場發射掃描電鏡
簡介：新型的 BrightBeam" 鏡筒配置了靜電-電磁復合透鏡，縱貫整個鏡筒內部的加速器可以保證電子在整個鏡筒內全程處于高能量，減少 Boersch效應。這種設計顯著減小了像差，可以很好的提升低電壓下的分辨率。此外，加速管本身的屏蔽作用使得電子束不容易受到環境(雜散)磁場的影響。因此，無需施加樣品減速偏壓，即可實現 50 ev 的低著陸能量，并能獲得高質量的圖片。掃描線圈和雙物鏡的相互配合設計，可以提供超大的視野范圍，對樣品的實時導航也變的輕松而便捷，進而可以快速定位感興趣區域。
超高分辨場發射掃描電鏡主要特點：
1、獨特的鏡筒內探測器設計可以根據能量和角度選擇不同的電子信號
超高分辨場發射掃描電鏡鏡筒內 BSE 探測器安裝的特殊位置使得它們可以同時采集不同出射角的背散射電子(BSE)。Axial BSE 探測器收集近軸高角 BSE信號，Multidetector 探測器則收集中角BSE信號，而這兩個信號是明顯不同的。通過AxialBSE 探測器我們可以抑制樣品的表面形貌引起的干擾，從而觀察到的材料成分襯度。相比之下，Multidetector探測器收集中角背散射電子，獲得既有成分襯度又有形貌襯度的圖像，凸顯出試樣的綜合襯度。Multidetector配有能量過濾器，可以實現二次電子信號和背散射電子信號的過濾，以便增強背散射電子的襯度。
2、電子東敏感樣品和非導電樣品的理想選擇
完美的鏡筒和探測器系統的一體化設計，無需施加樣品減速偏壓，即可實現電子束 50ev 的低著陸能量，避免了樣品損傷和荷電效應，并實現出色的成像性能，是觀察各種不導電樣品的理想選擇。
3、電子束的快速設置-實現的成像和分析條件
EquiPower?透鏡技術可實現高效的散熱并保證電子鏡筒的穩定性，同時結合使用了實時電子束實時優化技術，使 TESCAN CLARA 能夠在全部束流范圍下獲得優異的高分辨率圖像和(EDS/EBSD)分析能力。
4、無漏磁超高分辨透鏡，低電壓下實現材料表面形貌細節的高靈敏表征
BrightBeam? 鏡筒實現無漏磁超高分辨率成像能力，對包括磁性樣品在內的各類樣品具有廣泛的適用能力。
超高分辨場發射掃描電鏡應用：
1、納米級金屬樣品的常規研究和工業檢驗
樣品的常規檢測通常是質量控制過程的重要部分也是生產和優化生產過程的關鍵。因而，使用掃描電子顯微鏡進行材料研究或樣品檢查是世界上許多公司或研究機構的常見做法。CLARA 的 BrightBeam" 技術可以實現檢測多種信號，從而更具體、詳細的揭示樣品所包含的信息。對于化學或物相角度分析需求，TESCAN CLARA 配置的 BrightBeam… 鏡筒和無漏磁靜電-電磁復合透鏡，支持在更大范圍的束流下對任意樣品進行高空間分辨的EDS和EBSD 分析。
2、納米粒子和各種團聚體的常規成像
對于世界各地科研領域的研究實驗室以及質量控制實驗室的研究人員而言，處理和分析顆粒狀的材料是項日常工作。顆粒是工業領域中許多工藝的前驅體材料。我們通常需要使用超高分辨掃描電鏡(UHRSEM)進行檢測、表征超細的納米級顆粒。TESCAN CLARA能夠在低電壓下對這種納米粒子進行成像，揭示出在較高加速電壓下不可見的特征。
3、電子東敏感和不導電材料的分析
使用超高分辨場發射掃描電鏡對電子束敏感和不導電樣品成像往往是件非常具有挑戰性的工作，經常會需要采用特殊的辦法才能在避免樣品損傷和荷電效應。其中一個解決方案是，在低電壓下觀察以減少電子束對樣品的損傷以及荷電效應。TESCANCLARA的 BrightBeam"系統配置的創新的電子光學鏡筒和強大的多款探測器非常適用于這類應用。它可以根據每個樣品的需要來調整束流，在獲得超高分辨成像的同時也可以保證樣品不會受到損傷，而且也不會因為荷電現象而導致圖像或對比度失真。
