技術特點:
優質加熱絲:KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE…
熱材料:PMF T2 T3…晶體纖維等
緣子:高純剛玉
端口過渡環:氧化鋁氧化鋯等真空成型。
用途:半導體擴散爐燒結爐等
◆滿足4"-8"立式、臥式晶圓擴散爐"
◆完整的產品系列,滿足該產品的
◆替代的材料及制造技術
◆質量技術指標優異
◆使用溫度:室溫-1300℃&plun;0.5℃
◆高溫型、普通型、快速升降溫型。
爐體型號:JH300I-XX JH300II-XX JV500I-XX JV500H-XX
爐體口徑:Φ100~Φ300Φ100~Φ300Φ200~Φ500Φ200~Φ500
工作溫度:200℃~1200℃400℃~1300℃200℃~1200℃400℃~1300℃
加熱絲:Fe-Cr-Al-Y,高溫Fe-Cr-Al-Y Fe-Cr-Al-Y,高溫Fe-Cr-Al-Y
按客戶的爐型要求,可內襯高純剛玉管或SiC管。
供貨類型:
爐體按結構形式分為:臥式爐體、立式爐體;
按工藝溫度分為:高溫爐體、低溫爐體以及快速升降溫爐體。
提供完整的相關配件:
■熱偶系列
■真空成型過渡環、端口
■按客戶要求的各種特異爐體
歡迎索取相應詳盡的技術資料及共研相應項目的解決方案。







