主要用于在125mm×125mm或156mm×156mm太陽能硅片上淀積氮化硅減反射鈍化膜。
　　產(chǎn)品特點(diǎn)：
　　◆送片方式：懸臂/軟著陸（推薦）
　　◆射頻電源、壓力控制系統(tǒng)、干泵等。
　　◆數(shù)控鈑金機(jī)床加工，整機(jī)結(jié)構(gòu)合理，同類設(shè)備。
　　◆滿足用戶的技術(shù)指標(biāo)要求，突出產(chǎn)品的穩(wěn)定性，一致性。
　　◆工控機(jī)自動(dòng)控制系統(tǒng)，工藝過程參數(shù)顯示、修改、記錄等，操作更加直觀便捷；
　　◆設(shè)備操作方便，模塊化設(shè)計(jì)，使用及維護(hù)方便；
　　◆方便的溫區(qū)調(diào)整方式（或自動(dòng)溫區(qū)調(diào)整）更加快捷；
　　◆高質(zhì)量的加熱爐體，恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命。

　　主要技術(shù)指標(biāo)：
　　◆工藝片數(shù)：125mm×125mm/256片/批，156mm×156mm/216片/批
　　◆爐體口徑：適應(yīng)石英管外徑φ400mm
　　◆工作溫度范圍：150〜500℃
　　◆恒溫度及：1100mm/&plun;1.5℃
　　◆懸臂式送料裝置：50mm/min〜900mm/min連續(xù)可調(diào)
　　◆壓力控制范圍：100〜300Pa（閉環(huán)連續(xù)可調(diào)）
　　◆限真空度：1Pa
　　◆反射膜均勻性：片內(nèi)≤&plun;4%，片間≤&plun;4%，批間≤&plun;5%
　　◆沉積均勻性：≤&plun;5%
　　◆內(nèi)置的Profile TC 實(shí)時(shí)顯示工藝過程恒溫區(qū)內(nèi)前、中、后三點(diǎn)的實(shí)際溫度。