產(chǎn)品應(yīng)用：太陽能電池片生產(chǎn)線上125mm×125mm、156mm×156mm方片擴(kuò)散、氧化、退火等工藝使用。
　　
　　產(chǎn)品特點(diǎn)：
　　◆工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閘門等動(dòng)作進(jìn)行自動(dòng)控制；
　　◆閉管式擴(kuò)散系統(tǒng)，降低生產(chǎn)成本，更潔凈，更；
　　◆石英舟采用軟著陸送片，高性；
　　◆工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放，更加安；
　　◆具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置；
　　◆具有斷電報(bào)警、溫報(bào)警、限溫報(bào)警等多種保護(hù)功能；
　　◆控溫好，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好；
　　◆關(guān)鍵件采用件，系統(tǒng)性高，干擾。
　　
　　主要技術(shù)指標(biāo)：
　　1.適用硅片尺寸：125mm×125mm、156×156mm；
　　2.裝片量：300-400片／管；
　　3.工藝管數(shù)量：1～4管（可選擇）；
　　4.工作溫度范圍：400～1300℃；
　　5.恒溫度：1100mm（可根據(jù)客戶要求定做）；
　　6.恒溫區(qū)：&plun;1℃（600～1100℃）；
　　7.單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：≤&plun;1℃／24h（600～1100℃）；
　　8.可控升溫速度：（300～1300℃）15℃／min；
　　9.可控降溫速度：（1300～900℃）5℃／min；
　　10、凈化臺(tái)潔凈度：100級。