一、主要用途：保密。
二、技術指標：
1.譜儀真空3×10-a（探測器位置處），漏率小于1×10-7Pa.L/s（真空機組由甲方自行購置，乙方設計，系統氣阻盡量小）；
2.濾片室、平面鏡室、探測器安裝組件與瞄準系統整體軸向&plun;4 mm的平移調節與&plun;1°的角度調節，角度調節0.01°；
3.瞄準系統靶點瞄準不確定度不大于&plun;1mm，用兩個Φ2mm的小孔表示譜儀中心軸線，為兩小孔的距離不小于1000mm，與譜儀軸線的同軸度Φ0.01mm.
三、系統組成：
真空隔斷裝置、調節機構、主真空腔體等組成。
二、技術指標：
1.譜儀真空3×10-a（探測器位置處），漏率小于1×10-7Pa.L/s（真空機組由甲方自行購置，乙方設計，系統氣阻盡量小）；
2.濾片室、平面鏡室、探測器安裝組件與瞄準系統整體軸向&plun;4 mm的平移調節與&plun;1°的角度調節，角度調節0.01°；
3.瞄準系統靶點瞄準不確定度不大于&plun;1mm，用兩個Φ2mm的小孔表示譜儀中心軸線，為兩小孔的距離不小于1000mm，與譜儀軸線的同軸度Φ0.01mm.
三、系統組成：
真空隔斷裝置、調節機構、主真空腔體等組成。
