一、設(shè)備用途：
本設(shè)備為單室結(jié)構(gòu)的多靶磁控濺射鍍膜設(shè)備，可用于單質(zhì)膜及多層功能膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等。
二、技術(shù)指標(biāo)：
1.空室采用立式前開門結(jié)構(gòu)，尺寸為：Φ700×H742（mm），不銹鋼材料；
2.限真空：濺射室（經(jīng)烘烤）真空度限≤5×10-5Pa；
3.統(tǒng)漏率：停泵關(guān)機(jī)12小時后，濺射室真空度可達(dá)≤15Pa；
4.靶：四支矩形永磁非平衡靶（約15英寸×5英寸）（，由甲方自購），磁控靶不設(shè)置檔板；
5.品可加熱，加熱溫度：室溫～250℃，采用高控溫表，程序控溫；
6.氣系統(tǒng)：采用手動三路供氣，三路單獨進(jìn)行流量控制單獨進(jìn)氣。
三、系統(tǒng)組成：
該設(shè)備主要由真空抽氣及測量系統(tǒng)、濺射室系統(tǒng)、磁控濺射靶及電源系統(tǒng)、樣品臺系統(tǒng)（樣品臺主體、偏壓電源、樣品加熱）、氣路系統(tǒng)、電器及計算機(jī)控制系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)等各部分組成。
本設(shè)備為單室結(jié)構(gòu)的多靶磁控濺射鍍膜設(shè)備，可用于單質(zhì)膜及多層功能膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等。
二、技術(shù)指標(biāo)：
1.空室采用立式前開門結(jié)構(gòu)，尺寸為：Φ700×H742（mm），不銹鋼材料；
2.限真空：濺射室（經(jīng)烘烤）真空度限≤5×10-5Pa；
3.統(tǒng)漏率：停泵關(guān)機(jī)12小時后，濺射室真空度可達(dá)≤15Pa；
4.靶：四支矩形永磁非平衡靶（約15英寸×5英寸）（，由甲方自購），磁控靶不設(shè)置檔板；
5.品可加熱，加熱溫度：室溫～250℃，采用高控溫表，程序控溫；
6.氣系統(tǒng)：采用手動三路供氣，三路單獨進(jìn)行流量控制單獨進(jìn)氣。
三、系統(tǒng)組成：
該設(shè)備主要由真空抽氣及測量系統(tǒng)、濺射室系統(tǒng)、磁控濺射靶及電源系統(tǒng)、樣品臺系統(tǒng)（樣品臺主體、偏壓電源、樣品加熱）、氣路系統(tǒng)、電器及計算機(jī)控制系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)等各部分組成。
