一、用途：該設(shè)備用于器件真空除氣、退火及釬焊。
二、技術(shù)指標(biāo)：
1.系統(tǒng)空載限真空度≤2×10-4Pa，（冷態(tài)）；工作真空度≤1×10-a（1400℃）；
2.分子泵啟動(dòng)正常工作30分鐘后，真空度進(jìn)入10-2Pa；
3.連續(xù)工作溫度：1400℃（持續(xù)時(shí)間10小時(shí)以上）；溫度均勻性&plun;5℃，控溫：&plun;2℃；
4.爐膛空間≥＆Oslash；300×600m；均溫區(qū)≥＆Oslash；200×400mm；
5.主泵采用北科儀復(fù)合分子泵作為主抽氣系統(tǒng)，抽速：1200L/S，前級(jí)泵采用8升/秒機(jī)械泵；
6.加熱方式采用三區(qū)加熱、測(cè)溫控溫方式，PID智能溫控儀程序控溫；采用低電壓大電流加熱電源，電壓低于45V.
三、系統(tǒng)組成：
本設(shè)備主要由真空室系統(tǒng)、真空抽氣及測(cè)量系統(tǒng)、加熱及控溫系統(tǒng)、電器控制系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)等幾部分組成。
二、技術(shù)指標(biāo)：
1.系統(tǒng)空載限真空度≤2×10-4Pa，（冷態(tài)）；工作真空度≤1×10-a（1400℃）；
2.分子泵啟動(dòng)正常工作30分鐘后，真空度進(jìn)入10-2Pa；
3.連續(xù)工作溫度：1400℃（持續(xù)時(shí)間10小時(shí)以上）；溫度均勻性&plun;5℃，控溫：&plun;2℃；
4.爐膛空間≥＆Oslash；300×600m；均溫區(qū)≥＆Oslash；200×400mm；
5.主泵采用北科儀復(fù)合分子泵作為主抽氣系統(tǒng)，抽速：1200L/S，前級(jí)泵采用8升/秒機(jī)械泵；
6.加熱方式采用三區(qū)加熱、測(cè)溫控溫方式，PID智能溫控儀程序控溫；采用低電壓大電流加熱電源，電壓低于45V.
三、系統(tǒng)組成：
本設(shè)備主要由真空室系統(tǒng)、真空抽氣及測(cè)量系統(tǒng)、加熱及控溫系統(tǒng)、電器控制系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)等幾部分組成。
