設備主要技術參數:
真空連續式鍍膜流水線配置表
序號 項目 規格及說明
1 設備主體
1.1 外形尺寸 12.6m*2.4*1.6m(長*寬*高)
1.2 整體重量 17噸
2 傳輸部分
2.1 工件盤尺寸 1210*600mm
2.2 驅動電機 LENZE MDSKSRS036-13
3 真空系統
3.1 K1進料室泵組 PAC250+WKP500A
3.2 K2清洗室泵組 DUO65+TMH1001
3.3 K3傳輸室泵組 TMH1001
3.4 K4-1鍍膜室泵組 TMH1001+TMH521
3.5 K4-2鍍膜室泵組 TMH1001+TMH521
3.6 K5傳輸室泵組 TMH1001 PAC90+WKP500A DUO6
3.7 K6過渡室泵組 DUO65+TMH1001
3.8 K7出料室泵組 PAC250+WKP500A
3.9 冷凝泵 POLYCOLD PFC-1102HC
4 真空壓力檢測
4.1 皮拉尼規 TPR 265
4.2 全量程檢測真空計 PKR251
4.3 過程壓力測量 MKS Baratron627B
4.4 壓力開關 PN3009
5 氣流控制系統
5.1 氣流量控制器 MKS 2179A
6 濺射系統及電源
6.1 輝光清洗電源 霍庭格 TIE 10/100P
6.2 濺射電源 霍庭格 TIG DCS30
6.3 清洗電尺寸 580*160
6.4 陰濺射靶尺寸 900*240
7 自動化控制系統
7.1 機 SEMITIC PANEL PC670
7.2 可編程控制器 西門子 PROFIBUS 網絡 S-318CPU
8 外圍配置及要求
8.1 電源輸入要求 380V 240KW
8.2 冷水機 K-2-38/5-2
8.3 壓縮空氣 壓力6-7BAR 2-3立方/小時
8.4 氮氣 25立方/小時
8.5 氬氣 120L/小時
8.6 環境要求 15-35度濕度〈70%
8.7 設備噪音指數 〈70分貝








