在過去的30年內,爐子的設計由于泰斯達公司不斷的更新,了其性能和耐用性。程序控制器經過數次重復設計,以增強其操作的簡易度和性。TYTAN爐系統的設計讓其具備了耐用性、穩定性和適用性。TYTAN爐系統為硅晶片的加工行業提供了一個的途徑。隔熱包產品提供了更緊湊的爐體-其性能卻不打。這種設計導致了均勻性良好的處理工藝和更高的硅片生產產量。TYTAN技術優勢為:
■占地空間小,節約了40%的潔凈室空間
■優質的溫度和處理的均勻性
■正常運行時間大于95%,生產能力突出
■在上,過競爭對手設計的50%
■加工生產量更高
■了對氣體處理環境的控制
■倒流入爐管的空氣量小
■使用的氣體更少
■生成的顆粒少
■生產成本降低







