萊寶粗抽泵+I 10 ON BOARD 冷凝泵
二、真空檢測
INFICON:BPG400真空規
三、蒸發系統控制及膜厚檢測
1、蒸發控制器:運行+設定
2、觸摸屏和電位器分別控制
3、電壓、電流顯示
4、晶控儀:控制蒸發電流大小,控制蒸發速率,顯示厚度;MDC360或SYSCON 2000
四、氣體控制
2路質量流量控制器MKS1179A
五、使用領域
1、半導體:金屬化
2、TFT:金屬導線
3、微結構:金屬化
六、設備特點
1、置
2、高
3、
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