一、真空抽氣部分
萊寶粗抽泵＋I 10 ON BOARD 冷凝泵
二、真空檢測
INFICON：BPG400真空規
三、蒸發系統控制及膜厚檢測
1、蒸發控制器：運行＋設定
2、觸摸屏和電位器分別控制
3、電壓、電流顯示
4、晶控儀：控制蒸發電流大小，控制蒸發速率，顯示厚度；MDC360或SYSCON 2000
四、氣體控制
2路質量流量控制器MKS1179A
五、使用領域
1、半導體：金屬化
2、TFT：金屬導線
3、微結構：金屬化
六、設備特點
1、置
2、高
3、
萊寶粗抽泵＋I 10 ON BOARD 冷凝泵
二、真空檢測
INFICON：BPG400真空規
三、蒸發系統控制及膜厚檢測
1、蒸發控制器：運行＋設定
2、觸摸屏和電位器分別控制
3、電壓、電流顯示
4、晶控儀：控制蒸發電流大小，控制蒸發速率，顯示厚度；MDC360或SYSCON 2000
四、氣體控制
2路質量流量控制器MKS1179A
五、使用領域
1、半導體：金屬化
2、TFT：金屬導線
3、微結構：金屬化
六、設備特點
1、置
2、高
3、
